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积塔半导体获得机械手臂设备专利完成晶圆卡盘在旋转件效果下独立旋转操作或选择性成组操作

时间: 2026-01-11 07:50:38 作者: 常见问题

  国家知识产权局信息数据显现,上海积塔半导体有限公司获得一项名为“机械手臂设备”的专利,授权公告号CN223786501U,请求日期为2025年1月。

  专利摘要显现,本实用新型供给一种机械手臂设备,经过将机械臂主体衔接多个机械臂衔接部,一起机械臂衔接部经过旋转件衔接多个晶圆卡盘,晶圆卡盘包含卡盘承载部和卡盘衔接部,所述旋转件坐落所述机械臂衔接部与卡盘衔接部之间,卡盘承载部承载晶圆;此结构可完成晶圆卡盘在所述旋转件的效果下独立旋转操作或选择性成组旋转操作;别的结构中还设有限位件,以确保晶圆卡盘归位时的方位精度。本实用新型的结构有用完成了机械手臂可选择性抓取方针晶圆的操作,处理了实践生产中机台需要将晶圆物理分批的问题,有用节省了晶圆盒资源,减少了人工,降低了生产成本。

  天眼查资料显现,上海积塔半导体有限公司,成立于2017年,坐落上海市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1790638.7534万人民币。经过天眼查大数据分析,上海积塔半导体有限公司共对外出资了2家企业,参加招投标项目1940次,产业线条,此外企业还具有行政许可200个。

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